型号SM-4
迷你型探针台
特点
紧凑的结构
轻巧的重量
实惠的价格
可以做光电方面测试应用
LED/LD/PD的光强/波长测试
可以进行射频测试，加装东/西方向针座
适合大学实验室通用
适合4"以下晶圆测试
Chuck通过x-y方向丝杠驱动
无后座力移动
规格
真空吸附型CHUCK 4" 不锈钢材质
Chuck 行程 X-Y方向行程3" x3"
Chuck 可旋转角度 0~30 °
平台 可放置6 个针座
需求
电力 110 VAC, 60Hz
真空 -250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
320mm长 x 320mm宽 x 400mm高 （带显微镜）
重 20 Kg （带显微镜）
可选附件
Chuck推拉装置
带真空底座的活动Chuck
显微镜倾仰装置和快速右倾装置
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
超声切割
视频系统
显微拍照系统
封装器件夹具
PCB板夹具
加热系统
液晶套装
防震垫
屏蔽箱
测试平台
带脚轮的仪器柜
真空吸附型Chuck
镀金Chuck